MKS 925系列微皮拉尼真空计，是基于一个以微电子机械系统的热量传导型的真空传感器，925真空计可以用于真空压力测量和提供模拟电压输出，数字通讯和用于工艺控制的中继点。

产品特点：
 压力测量范围在10ˉ5Torr 到大气压，大于普通的皮拉尼真空计2个测 量等级
 3个用于工艺控制的中继点(选择性)
 超精致的设计
 为工艺控制提供高的测量精度
 模拟的输出和数字通讯(RS232或RS485)提供了简便的操作
 可以抵御大气冲击和振动
 可以方便地安装于任何方向，没有任何测量精度的损失
 可以替代任何供应商的真空计和设施的升级
 符合欧洲CE，EMC标志

应 用：
MKS925真空计可以使用于半导体工业的分析和镀膜工艺上的测量。
 一般的真空压力测量
 前极管路和低真空的测量
 气体的充填测量和控制
 质谱仪器的控制
   真空计的启动
 工艺系统的控制
 控制系统的压力