智能气体混合配比器-维意真空
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100台
产地
北京市
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未填写
北京维意真空技术应用有限责任公司

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身份认证
主营产品:
ALD原子层沉积镀膜设备,PECVD设备,磁控溅射镀膜机,真空腔体,真空配件,管式炉,马弗炉,热压炉,PLD激光脉冲沉积镀膜设备,探针台,低空环境模拟器,ALD/MO源瓶
- 产品参数 -
分类 智能仪表仪器
- 产品详情 -
智能气体混合配比器-维意真空基本介绍

智能气体混合配比器

产品描述:

  Wayes-3ZT系列箱式气体混合配比器如图所示, 本配比器适用于低压小流量,多种气体单一/混合连续供气系统。尤其方便多种气体的切换使用,而不会造成大气进入用气设备。气体压力和流量数据在同一平面直观可读,外形美观、实用,操作简便,显示流量准确,可有效地控制气体消耗量。阀门的输出连接采用国际标准1/4双卡套连接。

智能气体混合配比器产品特点:

1.支持累计流量设定:启动后,系统会自动累计流量,累计流量到之

  后,系统会自动停止;
2.支持累计时间设定:启动后,系统会自动累计时间,累计时间到之

  后,系统会自动停止;
3.支持系统自动恒压:首先启动后,当实际检测的压力大于设定的压

  力后,系统关闭进气系统,当系统压力回落后,进气系统恢复到以

  前的状态,系统的设定。
4.超压保护功能:因为不当操作,当混气罐内部的压力大于“输出报

   值”时,系统自动关闭进气,保护整个系统。如果输出报警值设

  置太小,系统会一直处于保护状态。
5.支持系统同时启动,支持系统单个启动。

产品技术参数

1

产品名称

3ZT气路

2

产品型号

BTE-3ZT

3

显示模式

7"液晶屏

4

显示控制方式

触摸屏控制,智能定时,定量,恒压等功能。

具有流量累计功能,时间累计功能,

5

气路1,2,3

根据需要可以选配量程,采用七星华创质量流量计,控制精度1%

6

压力变送器

配比器内部显示高精度压力变送器,-100Kpa-100Kpa

7

内部控压模式

进气控压,电磁阀开关控压(进口电磁阀)

8

外部数字式真空规

测量范围0.01Pa-100Kpa

9

外部控压模式

连续模拟可调(进口电磁阀)

10

电源/功率

220V 50HZ / 1.5kw

11

尺寸/重量

600×600×300 mm / --

12

标准配置

四氟管12米

13

选配

 

智能气体混合配比器-维意真空性能特点
 
智能气体混合配比器-维意真空技术参数
 
智能气体混合配比器-维意真空使用说明
 
智能气体混合配比器-维意真空采购须知
 
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