高温真空蒸镀仪郑州科探仪器基本介绍 
 

  高温真空蒸镀仪，触摸屏控制功率时间，工艺时间记忆储存功能，石英腔体，自动电动挡板保护样品，旋转样品台，蒸发高度调节。 
 
 
 高温真空蒸镀仪郑州科探仪器性能特点 
 
 
 
高温真空蒸镀仪，是一款小型真空镀膜仪，特别适合蒸镀一些轻金属，如, 和Li等。同时也可对样品进行镀碳处理，Z大可处理的样品直径为50mm.。标准的旋转样品台可进行倾斜调节，非常容易适应各种样品座。可选的样品台具有特殊的凹槽，可放置标准的载玻片，这在“石棉分析”需要镀碳层时尤为有利。
 碳棒头在仪器中作为标准件。这是一个“快速释放头”，使用户在选择金属蒸发附件、碳丝及光阑清洗头时可方便地更换。放气系统具有互锁装置，避免样品受到干扰。涡轮分子泵可安装在任何轴上，并且可  地“关闭”直接通大气。
 优点
 ● 容易操作
 ● 均匀的样品涂层
 ● 方便多用户操作
 ● 可用于蒸碳及蒸镀金属
 ● 在排气过程中可防止样品损坏
 ● 碳棒或碳丝蒸发
 
 
 
 
 
 
 高温真空蒸镀仪郑州科探仪器技术参数 
 
 
 
高温真空蒸镀仪KT-Z1650CVD
 
 
 
  
 
   
 
    
 
控制方式
 
 
    
 
7寸人机界面 手动 自动模式切换控制
 
 
   
 
   
 
    
 
加热方式
 
 
    
 
数字式功率调整器
 
 
   
 
   
 
    
 
镀膜功能
 
 
    
 
0-999秒5段可变换功率及挡板位和样品速度程序
 
 
   
 
   
 
    
 
最大功率
 
 
    
 
≤1200W
 
 
   
 
   
 
    
 
最大输出电压电流
 
 
    
 
电压≤12V  电流≤120A
 
 
   
 
   
 
    
 
真空度
 
 
    
 
机械泵 ≤5Pa（5分钟）   分子泵≤10^-3Pa
 
 
   
 
   
 
    
 
挡板类型
 
 
    
 
电控
 
 
   
 
   
 
    
 
真空腔室
 
 
    
 
石英+不锈钢腔体φ160mm x 160mm
 
 
   
 
   
 
    
 
样品台
 
 
    
 
可旋转φ62  （最大可安装φ50基底）
 
 
   
 
   
 
    
 
样品台转速
 
 
    
 
8转/分钟
 
 
   
 
   
 
    
 
样品蒸发源调节距离
 
 
    
 
70-140mm
 
 
   
 
   
 
    
 
蒸发温度调节
 
 
    
 
≤1800℃
 
 
   
 
   
 
    
 
支持蒸发坩埚类型
 
 
    
 
钨丝蓝  带坩埚钨丝蓝  钨舟  碳绳  
 
 
   
 
   
 
    
 
预留真空接口
 
 
    
 
KF25抽气口  KF16真空计接口  KF16放气口 6mm卡套进气口
 
 
   
 
   
 
    
 
可选配扩展
 
 
    
 
机械真空泵（可抽真空 5分钟＜5Pa）  
 
数显真空计（测量范围大气压到0.1Pa）
 
分子泵机组（可抽真空20分钟≤5x10-3Pa）
 
 
   
 
  
 
 
 
 
 
 高温真空蒸镀仪郑州科探仪器使用说明 
 

    
 
 
 高温真空蒸镀仪郑州科探仪器采购须知