高精度外置流量计 气体配比器 控制
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供货总量
99台
产地
河南省/郑州市
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自买家付款之日起30天内发货

郑州科探仪器设备有限公司

身份认证
主营产品:
石英管真空封口机,真空探针台,小型蒸镀仪,小型溅射仪,微型真空探针台,等离子清洗机,气体配比器
- 产品参数 -
商标 郑科探
型号 Kt--c4zs
规格
包装 独立包装
产量 99
是否有现货
品牌 郑科探
加工定制
产品适用范围 5毫升--50升
测量范围 20sccm--30slm
电源 AC 85-265V
工作电压 50/60Hz
外形尺寸 桌面式
重量 轻便
型号 Kt--c4zs
规格
商标 郑科探
包装 独立包装
- 产品详情 -
外置质量流量计气体配比器基本介绍
外置质量流量计气体配比器KT-C4ZS,配置7寸触摸屏智能控制,5段可编程序(时间-流量随意设置定值),数据储存方便收集相同气体,管道采用316抛光管制作耐腐蚀性强
外置质量流量计气体配比器性能特点

外置质量流量计气体配比器KT-C4ZS两元或多元需要混合的气体经过单向阀进入两级或多级压力平衡装置,平衡其输入压差,从而保证了混合前组分气体和稀释气体的压力相同,然后调节流量控制阀,可将各种气体的流量依据希望达到的混气比例进行调定。原理上采用动态气体混合法,即混即用,从而保证了混合气体的均匀性,复现性 ,比例稳定。

1流量计采用七星质量流量计

2量程和精度和气体都是根据需求定制

3气路采用316抛光管道耐腐蚀性强

4采用7寸触摸屏控制 5段可编程序(时间-流量随意设置定值)

外置质量流量计气体配比器技术参数

外置质量流量计气体配比器KT-C4ZS技术资料                                                                                    ;

产品型号

KT-PCS4Z

KT-C4ZS

 气体通道

4进1出

4进1出

可根据需求定制

产品类型

高精度型/快速响应型/智能控制/触摸屏控制

可选量程

20sccm-30slm(气体量程根据客户需要可选)

产品精度

高精度型±1%F.S

普通型±1%F.S

重复精度

高精度型±0.2% F.S

普通型±0.2% F.S

线性

高精度型±0.5% F.S.

普通型±1% F.S.

响应时间

高精度型≤2sec

普通型≤4sec

工作温度范围

(5~45)°C

供电电源

~85-265VAC 50/60Hz

最大功耗

40W

进气口压

≤0.6MPa

连接管道

316不锈钢管道

截止阀类型

电磁阀

单向阀开启压力

0.02Mpa

压力显示量程

0-0.6Mpa

控制方式

7寸触摸屏智能调节

时间设定

0-32000分钟

清洗功能

一键清洗

程序控制

5段可编程序(时间-流量随意设定值)

压力显示

有(出气压力检测且有压力上限设置过压切断总输出气路)

气体混合罐

有(内置不锈钢扰流板气体混合均匀)

气体加热

无(可选配气体混合罐加热,加热温度室温至350℃可调)

流量累计

有(累计当前运行总流量)

可选进出气口接头形式

3mm,6mm,1/8mm,1/4mm双卡套接头

抗电磁干扰

外形尺寸

550x380x400mm

重量

18KG~20KG

 

 

外置质量流量计气体配比器使用说明
 
外置质量流量计气体配比器采购须知
 
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