水冷型溅射仪郑州科探仪器基本介绍 
 

  水冷型溅射仪，KT-Z1650PVD，桌面式小型溅射仪，内配自动电动挡板，可保护样品或清洗靶材。 
 
 
 水冷型溅射仪郑州科探仪器性能特点 
 
 
 
水冷型溅射仪，KT-Z1650PVD，是一种紧凑型全自动溅射镀膜机，使用非常简单。由于插件概念，该设备很容易配置溅射或蒸发，只需更换工艺头。涂层前后可进行等离子处理。模块化设计使得避免金属和碳沉积之间的交叉污染变得容易。
 
 
高度调节和倾斜。它可以安装一个可选的变速旋转阶段或旋转行星阶段，每个选择持有不同的样本和存根类型。在所有样品阶段，膜厚监测都作为标准。.
 ？高性能溅射、碳涂层和等离子处理
 ？获得的碳线轴–  50个碳涂层，无需用户干预
 ？即插即用溅射和碳涂层模块
 ？真空性能和快速泵送时间
 
 
 
 水冷型溅射仪郑州科探仪器技术参数 
 
 
 
水冷型溅射仪，技术参数；
 
 
 
  
 
   
 
    
 
控制方式
 
 
    
 
7寸人机界面 手动 自动模式切换控制
 
 
   
 
   
 
    
 
溅射电源
 
 
    
 
直流溅射电源
 
 
   
 
   
 
    
 
镀膜功能
 
 
    
 
0-999秒5段可变换功率及挡板位和样品速度程序
 
 
   
 
   
 
    
 
功率
 
 
    
 
≤1000W
 
 
   
 
   
 
    
 
输出电压电流
 
 
    
 
电压≤1000V  电流≤1A
 
 
   
 
   
 
    
 
真空
 
 
    
 
机械泵 ≤5Pa（5分钟）   分子泵≤5*10^-3Pa
 
 
   
 
   
 
    
 
溅射真空
 
 
    
 
≤30Pa
 
 
   
 
   
 
    
 
挡板类型
 
 
    
 
电控
 
 
   
 
   
 
    
 
真空腔室
 
 
    
 
石英+不锈钢腔体φ160mm x 170mm
 
 
   
 
   
 
    
 
样品台
 
 
    
 
可旋转φ62  （可安装φ50基底）
 
 
   
 
   
 
    
 
样品台转速
 
 
    
 
8转/分钟
 
 
   
 
   
 
    
 
样品溅射源调节距离
 
 
    
 
40-105mm
 
 
   
 
   
 
    
 
真空测量
 
 
    
 
皮拉尼真空计（已安装 测量范围10E5Pa  1E-1Pa）
 
 
   
 
   
 
    
 
预留真空接口
 
 
    
 
KF25抽气口    KF16放气口   6mm卡套进气口
 
 
   
 
  
 
 
 
 
 
 水冷型溅射仪郑州科探仪器使用说明 
 

    
 
 
 水冷型溅射仪郑州科探仪器采购须知