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国产薄膜应力测量仪（光电薄膜）
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- 供货总量
- 10台
- 产地
- 上海市
- 发货期
- 自买家付款之日起100天内发货
- 产品参数 -
| 商标 | 根据实际要求 |
|---|---|
| 型号 | MA4 |
| 规格 | N |
| 包装 | 根据实际要求 |
| 加工方式 | OEM加工 |
| 生产线数量 | N |
| 日加工能力 | N |
| 无铅制造工艺 | 不提供 |
| 免费打样 | 支持 |
| 型号 | MA4 |
| 规格 | N |
| 商标 | 根据实际要求 |
| 包装 | 根据实际要求 |
| 晶圆 | 4-6寸 |
- 产品详情 -
薄膜应力测量仪-MA400-激光测试法
更多咨询联系：娄经理 13122976482 薄膜测试应力仪 国产应力仪 薄膜测试应力仪
技术规格 参数
基本原理 激光曲率法 /基于Stoney公式
主要方法 采用5×5 激光点阵对样品进行扫描测量 635 nm波长/ 5mW
主要功能 自动测量计算曲率半径和薄膜应力
扫描模式 Mapping面扫模式（主要表征局部区域的薄膜曲率半径或应力分布） L-D线扫模式（快速表征样品整体薄膜平均曲率半径或残余应力）
薄膜应力测试范围 5 MPa~5 GPa
曲率半径测试范围 2-200 m
曲率半径重复精度 ＜1 % （曲率半径<20 m），＜3 % （曲率半径 <100 m）
扫描步长 0.1 mm
扫描点数 >1 万点
样品尺寸 M100型号：4 英寸 M200型号：8 英寸
样品尺寸 > 15*15 mm 样品
样品基片校正 可数据处理校正原始表面不平影响（对减模式）
电源 110-220 VAC & 200 Watts Maximum
通讯连接端口 USB 3.0
工作温度 0~50 ?C
操作软件 可视化2D/3D显示 视窗界面/适用于Windows 7/Windows 10系统
操作电脑 标配台式一体机：显示器>21英寸，8G内存，Intel CPU，256G硬盘
外形尺寸 M100型号：～950×400×480 mm M200型号：～1050×500×480 mm
重量 ~40K g 质量保证 一年免费/终身维护 备注 以上所列技术规格与参数更新恕不另行通知，如有疑问请联系我们
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