匀胶机SM-150
 
 
匀胶机 SM-150 是手动或半自动薄膜涂覆的  选择，适用于表面没有或有非常矮形貌的基板涂胶作业。所有市面上的光刻胶与涂层材料都可被均匀涂覆到尺寸为 150mm (6”)127x127mm (5”x5”)的基板上。工艺腔设计可满足直径为 176mm。
 
 
 
SM 系列的优点在于，具有令人信服的高度涂膜均匀性和工艺重复性，并且操作简单、使用舒适。为了使花费在工艺腔清洁上的精力缩小化，SAWATEC   公司开发了一种极其实用且经济的工艺腔保护碗。工艺结束后，可以简单地移除和清理这种保护 碗。经由如此的   设计，也可以将维护成本最小化。因此，SAWATEC匀胶机可被优先应用于实验室，研发，试产项目以及研究所。
 
该匀胶机可提供桌面便捷式和内嵌式两种。
 
功能(基本配置)
 
可编程， 50 个程序(各包含 24 个程序段)
 
适用于重复工艺的快速启动功能
 
触摸屏面板控制，方便用户程序配置
 
工艺参数：转速、加速度、工艺时间
 
旋转方向可选 (顺时针、逆时针)
 
手动装卸基板
 
通过具有安全保护的真空系统进行基板固定
 
手动盖子带有空气入口和闭合安全保护
 
工艺结束时的声音信号
 
性能数据
 
转速范围：0 到 10,000rpm +/-1rpm
 
转速加速度：0–8,000rpm 为0.8秒/0–10,000rpm为1秒 1)
 
减速度：10,000rpm-0 为2.5秒/8,000rpm-0 为0.8秒 1)
 
工艺时间为 2376 s
 
每个程序段的给胶时间为 99 s
 
 
 
取决于基板尺寸和旋转卡盘的型号          
 
 
附加功能(可选项) 
 
半自动的管式给胶系统，带有手动给胶手臂和回吸功能的 50ml 玻璃注射管 
 
工艺腔的手动氮气净化装置 
 
用于简化操作的“启动/停止”脚踏开关(电缆长度 1.8m) 
 
经阳极电镀处理的铝制工艺腔 
 
铝制或 PE(聚乙烯)材料制成的工艺腔保护碗 
 
用于 SM-150 匀胶机的真空泵 
 
晶圆定位器 2”–6”(圆形) 
 
旋转卡盘分类 
 
为了达成  涂覆效果，我们提供了不同尺寸、材料和设计的旋转卡盘。根据用途的不 
 
同，可使用单块结构或具有光学辅助置  能的两部分构成的旋转卡盘。为避免基板背 
 
面被弄脏，有时不仅要选择  的旋转卡盘尺寸，还要采用专门的卡盘设计。旋转卡盘 
 
的更换过程非常简单，不需要使用工具。 
 
真空卡盘小片 
 
真空卡盘 1”至 3”(圆形) 
 
真空卡盘 100mm(4”)至 150mm(6”) 
 
真空卡盘 100x100mm(4”x4”) 
 
真空卡盘 125x125mm(5”x5”) 
 
其他卡盘需咨询
 
设计和尺寸
 
桌上式版本 SM -150-BT 内嵌式版本 SM-150-BM
 
紧凑且节省空间的结构形式
 
POM(聚甲醛树脂)材料制成的工艺碗，确保了高材料兼容性
 
POM(聚甲醛树脂)材料制成的集成式防溅环，确保无光刻胶溅出。
 
透明盖板：玻璃制成
 
具有 3.5” 彩色显示屏的触摸屏面板
 
高精度，高动态的交流伺服电机
 
经电解抛光处理的不锈钢外壳 
 
安装模块(BM): 300 x 300 x 368mm (长 x 宽 x 高)
 
外壳(BT): 350 x 510 x 403mm (长 x 宽 x 高) 
 
安装面板(BM): 320 x 166 x 50mm (长 x 宽 x 高)
 
重量(BT): 约 29kg 重量(BM): 约 20kg       
 
接口
 
230 VAC 50/60Hz 10A
 
脚踏开关用插头接口
 
技术真空，软管 Ø6/4mm(-0.8bar)
 
压缩空气或氮气软管 Ø6/4mm(3bar)
 
(  于和给胶系统配合使用)
 
排放接口 Ø12mm
 
BT 废气接口 Ø38mm(20–50m3/h)
 
BM 废气接口 Ø25mm(20–50m3/h)