桌面式高温蒸镀仪郑科探基本介绍 
 

  桌面式高温蒸镀仪，1800度高温，触摸屏控制，电动自动挡板保护样品，工艺储存操作简单 
 
 
 桌面式高温蒸镀仪郑科探性能特点 
 
 
 
桌面式高温蒸镀仪
 
 
小型蒸镀仪是一种在真空条件下加热蒸发容器中待蒸发材料的方法，以使原子或分子蒸发并从表面逸出以形成蒸气流，进入基材或基材表面，然后凝结成固体膜。
 
 
　　小型蒸镀仪包括以下基本过程：
 
 
　　（1）加热蒸发过程：包括从冷凝相变为气相的过程，并且每种蒸发物质在不同温度下具有不同的饱和蒸气压。
 
 
　　（2）气态原子或分子在蒸发源和基质之间的传输，即原子或分子在周围大气中的飞行过程。
 
 
　　（3）蒸发的原子或分子在基板表面上的沉积过程。即，蒸发，冷凝，成核，成核生长，形成连续的膜。由于基材的温度远低于蒸发源的温度，因此气态分子将直接经历从基材表面上的气态到固态的相变过程。
 
 
 
 
 
特点
 ● 全自动抽气系统
 ● 旋转样品台
 ● 菜单驱动式“用户”键盘输入
 ● 快速释放头方便选择不同的头
 ● 约束的排气控制 
 
 
 
 
 
 
 桌面式高温蒸镀仪郑科探技术参数 
 
 
 
桌面式高温蒸镀仪KT-Z1650CVD
 
 
 
  
 
   
 
    
 
控制方式
 
 
    
 
7寸人机界面 手动 自动模式切换控制
 
 
   
 
   
 
    
 
加热方式
 
 
    
 
数字式功率调整器
 
 
   
 
   
 
    
 
镀膜功能
 
 
    
 
0-999秒5段可变换功率及挡板位和样品速度程序
 
 
   
 
   
 
    
 
最大功率
 
 
    
 
≤1200W
 
 
   
 
   
 
    
 
最大输出电压电流
 
 
    
 
电压≤12V  电流≤120A
 
 
   
 
   
 
    
 
真空度
 
 
    
 
机械泵 ≤5Pa（5分钟）   分子泵≤10^-3Pa
 
 
   
 
   
 
    
 
挡板类型
 
 
    
 
电控
 
 
   
 
   
 
    
 
真空腔室
 
 
    
 
石英+不锈钢腔体φ160mm x 160mm
 
 
   
 
   
 
    
 
样品台
 
 
    
 
可旋转φ62  （最大可安装φ50基底）
 
 
   
 
   
 
    
 
样品台转速
 
 
    
 
8转/分钟
 
 
   
 
   
 
    
 
样品蒸发源调节距离
 
 
    
 
70-140mm
 
 
   
 
   
 
    
 
蒸发温度调节
 
 
    
 
≤1800℃
 
 
   
 
   
 
    
 
支持蒸发坩埚类型
 
 
    
 
钨丝蓝  带坩埚钨丝蓝  钨舟  碳绳  
 
 
   
 
   
 
    
 
预留真空接口
 
 
    
 
KF25抽气口  KF16真空计接口  KF16放气口 6mm卡套进气口
 
 
   
 
   
 
    
 
可选配扩展
 
 
    
 
机械真空泵（可抽真空 5分钟＜5Pa）  
 
数显真空计（测量范围大气压到0.1Pa）
 
分子泵机组（可抽真空20分钟≤5x10-3Pa）
 
 
   
 
  
 
 
 
 
 
 
 
 
 
 
 
 桌面式高温蒸镀仪郑科探使用说明 
 

    
 
 
 桌面式高温蒸镀仪郑科探采购须知