金属磁控溅射仪郑科探基本介绍 
 

  金属磁控溅射仪， 外形小巧 ，功率电流大小可调，触摸屏控制，有工艺储存功能，外配水冷机可长时间工作。 
 
 
 金属磁控溅射仪郑科探性能特点 
 
 
 金 
 属磁控溅射仪这是一种易于使用的基本仪器，用于SEM试样的镀金。它具有全可变电流控制、带暂停选项的数字过程定时器、可变高度试样台、铰链顶板和 O 形圈密封真空室。该控制装置允许独立于气体压力设置溅射电流，气体压力由手动泄漏阀单独调节。覆盖面和晶粒尺寸针对任何试样进行了优化,径目标的冷磁控管型磁头能够以  的加热实现  的溅射。镀膜时间由带有数字读数的定时器设置并存储在存储器中。真空状态和溅射电流显示在C触摸屏上 
 
 
 金属磁控溅射仪郑科探技术参数 
 
 
 
金属磁控溅射仪厂家供应技术参数；
 
 
 
  
 
   
 
    
 
控制方式
 
 
    
 
7寸人机界面 手动 自动模式切换控制
 
 
   
 
   
 
    
 
溅射电源
 
 
    
 
直流溅射电源
 
 
   
 
   
 
    
 
镀膜功能
 
 
    
 
0-999秒5段可变换功率及挡板位和样品速度程序
 
 
   
 
   
 
    
 
功率
 
 
    
 
≤1000W
 
 
   
 
   
 
    
 
输出电压电流
 
 
    
 
电压≤1000V  电流≤1A
 
 
   
 
   
 
    
 
真空
 
 
    
 
机械泵 ≤5Pa（5分钟）   分子泵≤5*10^-3Pa
 
 
   
 
   
 
    
 
溅射真空
 
 
    
 
≤30Pa
 
 
   
 
   
 
    
 
挡板类型
 
 
    
 
电控
 
 
   
 
   
 
    
 
真空腔室
 
 
    
 
石英+不锈钢腔体φ160mm x 170mm
 
 
   
 
   
 
    
 
样品台
 
 
    
 
可旋转φ62  （可安装φ50基底）
 
 
   
 
   
 
    
 
样品台转速
 
 
    
 
8转/分钟
 
 
   
 
   
 
    
 
样品溅射源调节距离
 
 
    
 
40-105mm
 
 
   
 
   
 
    
 
真空测量
 
 
    
 
皮拉尼真空计（已安装 测量范围10E5Pa  1E-1Pa）
 
 
   
 
   
 
    
 
预留真空接口
 
 
    
 
KF25抽气口    KF16放气口   6mm卡套进气口
 
 
   
 
  
 
 
 
 
 
 金属磁控溅射仪郑科探使用说明 
 

    
 
 
 金属磁控溅射仪郑科探采购须知