高温蒸镀仪郑州科探仪器基本介绍 
 

  高温蒸镀仪，KT-Z1650CVD，石英＋不锈钢腔体，触摸屏控制，工艺储存功能，自动电控挡板保护样品 
 
 
 高温蒸镀仪郑州科探仪器性能特点 
 
 
 
高温蒸镀仪，KT-Z1650CVD，石英＋不锈钢腔体，触摸屏控制，工艺储存功能，自动电控挡板保护样品
 
 
在厚度为2nm (20埃)或厚时膜是连续的。通常的沉积形式是加热碳或石墨棒。棒具有特定的形状以达到最大电流密度，使得它具有足够的温度来引起蒸发。基于这点，出现了细小的、亮的、热的碳颗粒。此系统需要用扩散泵或涡轮分子泵达到1x10-4 mbar或高的真空度。
 涡轮分子泵在K950X中作为标准配置，此泵作为机械真空泵的后级泵，真空为全自动控制，真空度  1x10-5 mbar。可进行预热及除气控制，同时用瞬时蒸发开关使脉冲蒸发在用户控制下进行。
 标准的旋转样品台可进行倾斜调节，非常容易适应各种样品座。
 
 
 
 高温蒸镀仪郑州科探仪器技术参数 
 
 
 
高温蒸镀仪KT-Z1650CVD
 
 
 
  
 
   
 
    
 
控制方式
 
 
    
 
7寸人机界面 手动 自动模式切换控制
 
 
   
 
   
 
    
 
加热方式
 
 
    
 
数字式功率调整器
 
 
   
 
   
 
    
 
镀膜功能
 
 
    
 
0-999秒5段可变换功率及挡板位和样品速度程序
 
 
   
 
   
 
    
 
最大功率
 
 
    
 
≤1200W
 
 
   
 
   
 
    
 
最大输出电压电流
 
 
    
 
电压≤12V  电流≤120A
 
 
   
 
   
 
    
 
真空度
 
 
    
 
机械泵 ≤5Pa（5分钟）   分子泵≤10^-3Pa
 
 
   
 
   
 
    
 
挡板类型
 
 
    
 
电控
 
 
   
 
   
 
    
 
真空腔室
 
 
    
 
石英+不锈钢腔体φ160mm x 160mm
 
 
   
 
   
 
    
 
样品台
 
 
    
 
可旋转φ62  （最大可安装φ50基底）
 
 
   
 
   
 
    
 
样品台转速
 
 
    
 
8转/分钟
 
 
   
 
   
 
    
 
样品蒸发源调节距离
 
 
    
 
70-140mm
 
 
   
 
   
 
    
 
蒸发温度调节
 
 
    
 
≤1800℃
 
 
   
 
   
 
    
 
支持蒸发坩埚类型
 
 
    
 
钨丝蓝  带坩埚钨丝蓝  钨舟  碳绳  
 
 
   
 
   
 
    
 
预留真空接口
 
 
    
 
KF25抽气口  KF16真空计接口  KF16放气口 6mm卡套进气口
 
 
   
 
   
 
    
 
可选配扩展
 
 
    
 
机械真空泵（可抽真空 5分钟＜5Pa）  
 
数显真空计（测量范围大气压到0.1Pa）
 
分子泵机组（可抽真空20分钟≤5x10-3Pa）
 
 
   
 
  
 
 
 
 
 
 
 
 
 
 
 
 高温蒸镀仪郑州科探仪器使用说明 
 

    
 
 
 高温蒸镀仪郑州科探仪器采购须知