大功率溅射仪郑州科探仪器基本介绍 
 

  大功率溅射仪，桌面式设计，触摸屏控制，石英＋不锈钢腔体，溅射距离可调，自动电动挡板可保护样品和清洗靶材。 
 
 
 大功率溅射仪郑州科探仪器性能特点 
 
 
 
大功率溅射仪，桌面式设计，触摸屏控制，石英＋不锈钢腔体，溅射距离可调，自动电动挡板可保护样品和清洗靶材。
 
 
离子镀膜技术是PVD技术的一种，是指在PVD沉积过程中，被镀材料形成金属或者非金属等离子体（如Ti离子，N离子），等离子体在偏压电场的作用下，沉积在工件表面上。由于离子镀过程中，离子的能量强，离子绕射性好，膜层的结合力好，膜层致密性也好，膜层性能好。
 
 
离子镀膜技术的应用非常广泛，常见的有：装饰性镀膜，工具模具硬质镀膜以及各种功能膜层。
 
 
 
 大功率溅射仪郑州科探仪器技术参数 
 
 
 
大功率溅射仪技术参数；
 
 
 
  
 
   
 
    
 
控制方式
 
 
    
 
7寸人机界面 手动 自动模式切换控制
 
 
   
 
   
 
    
 
溅射电源
 
 
    
 
直流溅射电源
 
 
   
 
   
 
    
 
镀膜功能
 
 
    
 
0-999秒5段可变换功率及挡板位和样品速度程序
 
 
   
 
   
 
    
 
功率
 
 
    
 
≤1000W
 
 
   
 
   
 
    
 
输出电压电流
 
 
    
 
电压≤1000V  电流≤1A
 
 
   
 
   
 
    
 
真空
 
 
    
 
机械泵 ≤5Pa（5分钟）   分子泵≤5*10^-3Pa
 
 
   
 
   
 
    
 
溅射真空
 
 
    
 
≤30Pa
 
 
   
 
   
 
    
 
挡板类型
 
 
    
 
电控
 
 
   
 
   
 
    
 
真空腔室
 
 
    
 
石英+不锈钢腔体φ160mm x 170mm
 
 
   
 
   
 
    
 
样品台
 
 
    
 
可旋转φ62  （可安装φ50基底）
 
 
   
 
   
 
    
 
样品台转速
 
 
    
 
8转/分钟
 
 
   
 
   
 
    
 
样品溅射源调节距离
 
 
    
 
40-105mm
 
 
   
 
   
 
    
 
真空测量
 
 
    
 
皮拉尼真空计（已安装 测量范围10E5Pa  1E-1Pa）
 
 
   
 
   
 
    
 
预留真空接口
 
 
    
 
KF25抽气口    KF16放气口   6mm卡套进气口
 
 
   
 
  
 
 
 
 
 
 大功率溅射仪郑州科探仪器使用说明 
 

    
 
 
 大功率溅射仪郑州科探仪器采购须知