持久型小型溅射仪郑科探基本介绍 
 

  持久型小型溅射仪，石英玻璃腔体，溅射距离可调节，外接水冷机可持久溅射，触摸屏控制，溅射时间工艺记忆储存。 
 
 
 持久型小型溅射仪郑科探性能特点 
 
 
 
持久型小型溅射仪
 
 
一般的溅射法可被用于制备金属、半导体、绝缘体等多材料，且具有设备简单、易于控制、镀膜面积大和附着力强等优点，
 
 
     磁控溅射法 是实现了高速、低温、低损伤。因为是在低气压下进行高速溅射，必须有效地提高气体的离化率。磁控溅射通过在靶阴极表面引入磁场，利用磁场对带电粒子的约束来提高等离子体密度以增加溅射率。
 
 
 
 
 
需要镀膜的样品
 
 
1、电子束敏感的样品:
 
 
主要包括生物样品，塑料样品等。SEM中的电子束具有较高能量，在与样品的相互作用过程中，它以热的形式将部分能量传递给样品。如果样品是对电子束敏感的材料，那这种相互作用会破坏部分甚至整个样品结构。这种情况下，用一种非电子束敏感材料制备的表面镀层就可以起到保护层的作用，防止此类损伤；
 
 
2、非导电的样品:
 
 
由于样品不导电，其表  面带有“电子陷阱”，  这种表面上的电子积累  被称为“充电”。为了  消除荷电效应，可在样  品表面镀一层金属导电  层，镀层作为一个导电  通道，将充电电子从材  料表面转移走，消除荷  电效应。在扫描电镜成  像时，溅射材料增加信  噪比，从而获得  的成像质量。
 
 
 
 持久型小型溅射仪郑科探技术参数 
 
 
 
持久型小型溅射仪厂家供应技术参数；
 
 
 
  
 
   
 
    
 
控制方式
 
 
    
 
7寸人机界面 手动 自动模式切换控制
 
 
   
 
   
 
    
 
溅射电源
 
 
    
 
直流溅射电源
 
 
   
 
   
 
    
 
镀膜功能
 
 
    
 
0-999秒5段可变换功率及挡板位和样品速度程序
 
 
   
 
   
 
    
 
功率
 
 
    
 
≤1000W
 
 
   
 
   
 
    
 
输出电压电流
 
 
    
 
电压≤1000V  电流≤1A
 
 
   
 
   
 
    
 
真空
 
 
    
 
机械泵 ≤5Pa（5分钟）   分子泵≤5*10^-3Pa
 
 
   
 
   
 
    
 
溅射真空
 
 
    
 
≤30Pa
 
 
   
 
   
 
    
 
挡板类型
 
 
    
 
电控
 
 
   
 
   
 
    
 
真空腔室
 
 
    
 
石英+不锈钢腔体φ160mm x 170mm
 
 
   
 
   
 
    
 
样品台
 
 
    
 
可旋转φ62  （可安装φ50基底）
 
 
   
 
   
 
    
 
样品台转速
 
 
    
 
8转/分钟
 
 
   
 
   
 
    
 
样品溅射源调节距离
 
 
    
 
40-105mm
 
 
   
 
   
 
    
 
真空测量
 
 
    
 
皮拉尼真空计（已安装 测量范围10E5Pa  1E-1Pa）
 
 
   
 
   
 
    
 
预留真空接口
 
 
    
 
KF25抽气口    KF16放气口   6mm卡套进气口
 
 
   
 
  
 
 
 
 
 
 持久型小型溅射仪郑科探使用说明 
 

    
 
 
 持久型小型溅射仪郑科探采购须知