正压回流焊接炉，真空烧结炉，真空共晶焊接炉基本介绍 
 
 
 
 
  1、焊接温度：VPO300型真空正压烧结炉实际焊接最高温度≥800℃。  
 
 
 
 
  2、真 空 度：极限真空度≤ 5×10-2 torr。  
 
 
 
 
  3、正压能力：0.5Mpa(1Mpa可选配)  
 
 
 
 
  3、有效焊接面积：≥300mm*300mm  
 
 
 
 
  4、炉膛内径/高度： 内径480mm，高度≥65mm（120MM/220mm高度可选）  
 
 
 
 
  5、加热方式：采用碳化硅石墨加热平台，碳化硅材料长期使用不易变形，而且具有很高导  
 
 
 
 
  热性，使热板表面温度均匀。  
 
 
 
 
  6、温度均匀性：有效焊接面积内≤±1%。加热平台是纯平台，没有水冷管，温度均  
 
 
 
 
  匀度会高。  
 
 
 
 
  7、升温速率：最大升温速率120℃/min。  
 
 
 
 
  8、冷却速率：冷却速率60-120℃/min（空载  温-150℃范围）。  
 
 
 
 
  碳化硅加热平台：采用气冷+水冷结合冷却方式，实现热板的快速冷却，提高降温速率，  
 
 
 
 
  并且实现在降温过程中温差过大造成器件烧结不良。  
 
 
 
 
  9、满足各种焊料（＞800℃）的焊接要求。尤其是可以满足中等正压的纳米银材料烧结。  
 
 
 
 
  10、焊接空洞率：  
 
 
 
 
  VPO300在软钎焊料焊接时，经过大量客户验证，空洞率可控制在1%以下。  
 
 
 
 
  11、可选高正压模块：  
 
 
 
 
  设备可以选配正压模块≤1Mpa，可满足正压、负压工艺要求。正压工艺可有效解决  
 
 
 
 
  微小器件在焊接过程中移位问题，同时可有效提升焊料的金属密度。正压工艺可有效解  
 
 
 
 
  决助焊剂飞溅的问题。  
 
 
 
 
  12、控温系统及测温系统  
 
 
 
 
  12.1 VPO300型真空正压焊接封装炉采用好的控温技术，控温精度在±1℃（400度以内控  
 
 
 
 
  温精度可达0.1℃）。  
 
 
 
 
  12.2 VPO300型真空正压焊接封装炉温度曲线可设定40段温度，并配置6组PID设定， 
 
 
 
 
    控制温度，保证焊接一致性及可靠性。温度控制属于滞后控，而PID控制是具有超  
 
 
 
 
  前调节的作用，可提高控温精度以及稳定性。  
 
 
 
 
  12.3 VPO300型真空正压焊接封装炉腔体内标配2组测温热电偶，设备工作时可实时反馈腔体  
 
 
 
 
  内任意位置的温度，并在控制软件中实时显示测温的温度曲线，保证焊接区域的  
 
 
 
 
  温度控制，为取得良好的工艺曲线提供支持。 
 
 
 
 
 正压回流焊接炉，真空烧结炉，真空共晶焊接炉性能特点 
 
 
 
 
  【标 配】  
 
 
 
 
  1、主机一台  
 
 
 
 
  2、工业级控制电脑一台  
 
 
 
 
  3、真空炉控制软件系统一套  
 
 
 
 
  4、氮气气氛系统、  气氛系统  
 
 
 
 
  5、MFC质量流量计一台  
 
 
 
 
  6、碳化硅加热平台  
 
 
 
 
  7、不停机更换加热器系统  
 
 
 
 
  【选 配】  
 
 
 
 
  1、真空泵（机械干泵）  
 
 
 
 
  2、分子泵系统  
 
 
 
 
  3、氮 数字化混合气氛系统  
 
 
 
 
  4、正压模块  
 
 
 
 
  5、CCD视觉/显微镜  
 
 
 
 
  6、氮 混合气气氛  
 
 
 
 
  7、高正压模块（1Mpa） 
 
 
 
 
 正压回流焊接炉，真空烧结炉，真空共晶焊接炉技术参数 
 
 
 
 
  型号 VPO300  
 
 
 
 
  焊接面积 300*300mm  
 
 
 
 
  焊接高度 65mm（120/220高度选配）  
 
 
 
 
  温度范围 最高可达800℃  
 
 
 
 
  加热方式  
  碳化硅板式加热  
 
 
 
 
  极限真空 ≤ 5×10 
  -2 
   torr  
 
 
 
 
  升温速率 ≤120℃/Min（可定制升温速率 ≤200℃/min）  
 
 
 
 
  降温速率 ≤120℃/Min  
 
 
 
 
  数据接口 串口/USB口  
 
 
 
 
  设备控制方式 工控机(触摸屏)+软件控制系统（同志科技自主软件）+PLC  
 
 
 
 
  焊接工艺 40段温度控制+真空压力控制  
 
 
 
 
  冷却方式 水冷（含冷热交换器、冷水机）  
 
 
 
 
  额定功率 12 KW  
 
 
 
 
  加热电源 单相 220V 50-65A 50Hz  
 
 
 
 
  电源  
  控制电源  
  三项五线 380V 25-50A  
 
 
 
 
  外形尺寸/重量 950*900*1450mm（含  ）/420Kg 
 
 
 
 
 正压回流焊接炉，真空烧结炉，真空共晶焊接炉采购须知 
 

  国内物流运输到楼下，质保一年