美国DENTON丹顿磁控溅射设备E14+上海代理商
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上海市
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上海螣芯电子科技有限公司

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主营产品:
EVG双面光刻机,EVG晶圆键合机,台阶仪,等离子清洗机,共晶贴片机/环氧贴片机,金线键合机,涂胶显影机,光学轮廓仪
- 产品参数 -
商标 n
型号 n
规格 n
包装 n
加工方式 OEM加工
生产线数量 n
日加工能力 n
无铅制造工艺 不提供
免费打样 支持
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晶圆 12寸以内
- 产品详情 -

联系方式:13122976482 Explorer磁控镀膜/热蒸发设备 磁控镀膜设备 热蒸发设备 丹顿磁控溅射

Explorer 镀膜系统

作为一个通用平台,可以灵活配置,实现不同功能:电子束蒸发,电阻蒸发,磁控溅射, 离子电镀和离子辅助沉积可以溅射金属,介质材料,磁性和复合材料

强大的控制系统丹顿真空ProcessPro计算机全自动控制系统,有维修模式,手动模式以及自动模式,自动模式一键式操作完成整个工艺,保证工艺的精确控制

ProcessPro控制软件:

一致的操作界面所有丹顿真空计算机操作系统均采用类似操作界面

标准化的软件使得技术支持 加方便

开放源代码您可以自己修改软件

网络支持支持远程控制

大进样室
可以传送直径10英寸工件

多种泵选项
多种扩散泵,低温泵,涡轮分子泵可选,适应不同预算和应用

典型应用

等离子体增强化学气相沉积

材料研究

小批量生产

复杂形状工件镀膜

镀制多种材料

磁控溅射

材料研究

产品质量控制分析

半导体失效分析

电子

纳米技术

复合半导体

OLEDs

蒸发

材料研究

离子辅助沉积(IAD

医疗器具

通讯

电子

剥离工艺(Lift-off

保护膜层镀制

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