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特征  
 
上侧和下侧对齐能力              
 
高精度对准台              
 
楔块误差自动补偿机构              
 
电动和配方控制曝光间隙              
 
支持  的紫外线LED技术              
 
最小化系统占地面积和设施要求              
 
分步过程指南              
 
远程技术支持              
 
多用户概念（无限数量的用户帐户和配方、可分配的访问权限、不同的用户界面语言）              光刻工艺的敏捷加工与转换              
 
台面或独立式，带防振花岗岩台面              
 
附加功能：              
 
键对齐              
 
红外对准              
 
纳米压印光刻             
 
 μ-接触印刷
 
技术数据              
 
晶圆直径（基板尺寸）              
 
标准平版印刷：小于等于150 mm的零件              
 
软紫外-无光：片高达150毫米              
 
分辨率             
 
 <40nm（分辨率取决于模板和工艺）              
 
支持的进程              
 
软紫外           
 
光源              
 
汞灯或紫外LED光源              
 
自动分离              
 
不支持              
 
工作印章制作    
 
外部