特征：
 
台阶高度重复性5埃
 
单拱龙门式设计实现了扫描稳定性
 
 
 
操作简便，  易用
 
直观化的Vision64TM软件简化了用户界面的操作过程
 
传感器设计使得在单一平台上即可实现超微力和较大的力测量
 
自对准的探针设计使用户可以轻而易举地更换探针
 
 
 
参数：
 
 
 
 
 
 
  
 
   
 
测试技术
 
 
   
 
探针式表面轮廓测量技术（接触模式）
 
 
  
 
  
 
   
 
测量范围
 
 
   
 
二维表面轮廓测量
 
可选择三维测量以及数据分析
 
 
  
 
  
 
   
 
样品观测
 
 
   
 
可选择放大倍数，视场（FOV）范围：1~4mm
 
 
  
 
  
 
   
 
探针传感器
 
 
   
 
低惯性量传感器 （LIS 3）
 
 
  
 
  
 
   
 
探针作用力
 
 
   
 
LIS 3 传感器中 1~15mg
 
 
  
 
  
 
   
 
低作用力模式
 
 
   
 
N-Lite+  低作用力  0.03~15mg
 
 
  
 
  
 
   
 
探针选项
 
 
   
 
探针曲率半径  50nm~25um
 
高径比针尖（HAR）10um×2um 和200um×20um ；也可以采用客户定制针尖
 
 
  
 
  
 
   
 
样品 X/Y 载物台
 
 
   
 
手动 X/Y（4英寸）：100mm*100mm，可手动校平
 
自动 X/Y（6英寸）：150mm*150mm，可手动校平
 
 
  
 
  
 
   
 
样品 / 载物台
 
 
   
 
手动，360度连续旋转
 
自动，360度连续旋转
 
 
  
 
  
 
   
 
计算机系统
 
 
   
 
64位多核并行处理器，Windows? 7 系统；可选配23英寸平板显示器
 
 
  
 
  
 
   
 
软件
 
 
   
 
Version 64 操作分析软件，应力测量软件，悬臂偏转测试软件；
 
选配：缝合软件；3D应力分析软件；3D测量软件
 
 
  
 
  
 
   
 
隔振系统
 
 
   
 
多种隔振方案可供选择。
 
 
  
 
  
 
   
 
扫描长度范围
 
 
   
 
55mm （~2英寸）
 
 
  
 
  
 
   
 
单次扫描数据采集点
 
 
   
 
达120，000
 
 
  
 
  
 
   
 
  样品厚度
 
 
   
 
50mm (2英寸)
 
 
  
 
  
 
   
 
  晶片尺寸
 
 
   
 
200mm (8英寸)
 
 
  
 
  
 
   
 
台阶高度重复性
 
 
   
 
<5埃， 1sigma on 0.1μm step
 
 
  
 
  
 
   
 
垂直方向扫描范围
 
 
   
 
1mm (0.039英寸.)
 
 
  
 
  
 
   
 
垂直方向分辨率 
 
 
   
 
分辨率可达 1埃  (在6.55um测量范围内 
 
 
  
 
  
 
   
 
输入功率
 
 
   
 
100 – 240 VAC, 50 – 60Hz
 
 
  
 
  
 
   
 
温度范围
 
 
   
 
可以操作温度为 20 ~ 25°C (68 ~ 77°F)
 
 
  
 
  
 
   
 
湿度范围
 
 
   
 
≦80%，无凝结
 
 
  
 
  
 
   
 
系统尺寸和重量
 
 
   
 
455mm W x 550mm D x 370mm H ();
 
34kg (75lbs.);
 
隔离罩：550mm L x 585mm W x 445mm H (23in. );
 
5.0kg (11lbs.)