布鲁克Bruker原子力显微镜
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上海市
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上海螣芯电子科技有限公司

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主营产品:
EVG双面光刻机,EVG晶圆键合机,台阶仪,等离子清洗机,共晶贴片机/环氧贴片机,金线键合机,涂胶显影机,光学轮廓仪
- 产品参数 -
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规格 n
包装 n
加工方式 OEM加工
生产线数量 n
日加工能力 n
无铅制造工艺 不提供
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专利分类 n
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晶圆 12寸以内
- 产品详情 -

 

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布鲁克大样品台原子力显微镜 AFM显微镜 布鲁克AFM 原子力显微镜布鲁克

特征:

低漂移和低噪音水平

配置有专有ScanAsys原子成像优化技术,可以简易快速稳定成像

测试样品尺寸可达:直径210mm,厚度15mm

温度补偿位置传感器使Z轴和X-Y轴的噪音分别保持在亚-埃级和埃级水平,并呈现出高分辨率。

全新的XYZ闭环扫描头在不损失图像质量的前提下大大提高了扫描速度。

探针和样品台的开放式设计使Icon 可胜任各种标准和非标准的实验。

布鲁克AFM的模式和技术,如高次谐波共振模式,和不失真高温成像技术--采用对针尖和样品同时加热的方法,大程度减少针尖和样品之间的温差,避免造成成像失真。

 

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部分选择项:

 

参数:

X-Y扫描范围:             90微米x 90微米(标准), 85微米 

Z扫描范围:               10微米(标准成像与压力模式),9.5微米

X-Y噪声(闭环):          ≤0.15 nm RMS,标准成像带宽,(可达625 Hz)

Z噪声(闭环):            35pm RMS,标准成像带宽,(可达625HZ)

                              50pm RMS,力曲线带宽,(0.1HZ-5KHZ)

非线性积分(X-Y-Z):       <0.5%

样品大小:                 真空吸盘210mm,直径 ≤210mm,厚度 ≤15mm

电动定位平台(X-Y):       180mm × 150mm 检测区域;

                               2微米重复性, 单向;

                               3微米 重复性,双向;

光学显微镜:               500万像素的数码相机;
                               180微米至1465μm可视面积;
                               数码变焦和机动焦点

控制器:                   NanoScope V

工作台:                   整合了所有控制器,符合物理和人体工学设计

隔振装置:                 集成化,气动

隔音装置:                 可在连续85DBC环境下连续工作

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